更新時(shí)間:2024-06-03
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廠(chǎng)商性質(zhì):經(jīng)銷(xiāo)商
生產(chǎn)地址:德國
品牌 | HYDAC/德國賀德克 | 應用領(lǐng)域 | 電子,交通,冶金,汽車(chē),電氣 |
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怎么解決微壓力傳感器的靈敏度和線(xiàn)性度問(wèn)題,微傳感器是設備中的主要產(chǎn)品, 在已經(jīng)開(kāi)發(fā)的傳感器中占有很大的比例,因為微傳感器功耗比較低,響應比較快,使得在航空,家用電器,生物化學(xué)等廣闊領(lǐng)域。
在微傳感器中微壓力傳感器是其中一個(gè)主要的分支。傳感器的靈敏度和線(xiàn)性度是傳感器最重要的性能特征。特別是對于超微壓力傳感器而言。小量程的微壓力傳感器的靈敏度和線(xiàn)性度一直是阻礙微壓力傳感器發(fā)展的一大因素。
為了解決微壓力傳感器靈敏度和非線(xiàn)性的矛盾,在結構上,綜合梁膜結構與平膜雙島結構的優(yōu)點(diǎn),采用雙島-梁結構。島區的面積不是按比例放大或縮小。首先,為了增加靈敏度,應盡可能減小窄梁區的長(cháng)度和寬度。因為從對梁-膜-島結構的有限元分析和近似解析分析中發(fā)現,減小窄梁區的長(cháng)度和寬度可以明顯地使梁上的應力增大。并且當中間窄梁的長(cháng)度約為兩邊窄梁長(cháng)度的2倍時(shí),器件的線(xiàn)性度最好。雖然有雙島限位結構,但在高過(guò)載情況下,硅膜將首先從島的邊區和角區破裂。這是因為傳統的島膜結構都是采用常規的有掩模的各向異性濕法腐蝕,從硅片背面形成硅膜和背島。硅膜是晶面,邊框和背大島側面都是晶面,夾角為54.74°的銳角。根據力學(xué)原理,在角區存在應力集中效應,使硅膜在正面或背面受壓以后,角區會(huì )具有應力的極值,因此破裂首先從該處發(fā)生。引入應力勻散結構以后,使角區變成具有一定曲率的圓角區,使該區的應力極值下降。在硅膜與邊框或背島的交界處要形成有一定曲率半經(jīng)的緩變結構,采用一般的常規各向異性濕法腐蝕是無(wú)法實(shí)現的。為此,采用了掩模-無(wú)掩模各向異性濕法腐蝕技術(shù)。
微壓力傳感器具有廣泛的用途,目前微壓力傳感器的量程還不夠小,靈敏度和線(xiàn)性度也不是很好,所以微壓力傳感器還不能得到很好的應用,隨著(zhù)科技的發(fā)展,微壓力傳感器的應用前景將會(huì )進(jìn)一步拓展。
賀德克傳感器常用型號:
賀德克傳感器EDS344-2-400-000
賀德克傳感器EDS3446-2-0250-000
賀德克傳感器HDA-4445-A-250-000
賀德克蓄能器SB330-20A1/112U-330A100
賀德克電磁閥WSM06020Y-01M-C-N-24DG
賀德克油閥WSM 06020W-O1M-C-N-24 DG
賀德克傳感器EDS1791-P250-000
賀德克傳感器HDA4844-A-250-000
賀德克傳感器HDA4745-B-250-000
賀德克傳感器HDA4748-H-0250-000 (909337)
賀德克傳感器EDS3446-1-0250-Y00
賀德克傳感器ETS4144-A-006-000
賀德克充氮工具FPU-1-350/250F2,5G11A3K
賀德克發(fā)訊器VR2D.1/L24
賀德克蓄能器SB0330-0. 75E1/112A9-330AK
賀德克傳感器ENS3216-3-0520-000-K (909220) + ZBM20 (908739) + ZBE 06 (6006788)
賀德克傳感器EDS3446-3-0250-00+ZBE06
賀德克傳感器HAD4744-A-250-000
賀德克傳感器ENS 3218-5-0520-000-K 909221
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